工业技术创新2023，Vol.10Issue(2)：10-19,10.DOI:10.14103/j.issn.2095-8412.2023.04.002
有限元方法模拟电流导线作用下铁磁流体化学机械抛光
Simulation of Ferrofluid Chemical Mechanical Polishing under the Action of Current Conductors Using Finite Element Method
摘要
关键词
铁磁流体/化学机械抛光(CMP)/雷诺方程/电流导线/负压区域分类
机械制造引用本文复制引用
向涛,李明军..有限元方法模拟电流导线作用下铁磁流体化学机械抛光[J].工业技术创新,2023,10(2):10-19,10.基金项目
国家自然科学基金项目(项目编号:11971411) （项目编号:11971411）
湖湘高层次人才聚集工程—创新团队项目(项目编号:2019RS1060) （项目编号:2019RS1060）
