激光技术2023，Vol.47Issue(3)：345-352,8.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.03.010
飞秒激光烧蚀减薄石英玻璃研究进展
Research progress on thinning quartz glass by femtosecond laser ablation
姚龙元 1刘畅1
作者信息
- 1. 山东建筑大学机电工程学院,济南 250101
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摘要
关键词
激光技术/飞秒激光/石英玻璃/烧蚀减薄/微特征分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
姚龙元,刘畅..飞秒激光烧蚀减薄石英玻璃研究进展[J].激光技术,2023,47(3):345-352,8.
