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超纳米金刚石薄膜的快速生长及结构分析

位少博 王兵 熊鹰

金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(2)：176-181,6.
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金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(2)：176-181,6.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0122

超纳米金刚石薄膜的快速生长及结构分析

Research on the rapid growth and structure of ultra-nanocrystalline diamond thin films

位少博 1王兵 2熊鹰2

作者信息

  • 1. 西南科技大学 材料与化学学院,四川 绵阳 621010||西南科技大学,环境友好能源材料国家重点实验室,四川 绵阳 621010
  • 2. 西南科技大学 材料与化学学院,四川 绵阳 621010
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摘要

关键词

UNCD薄膜/MPCVD/基体温度/生长速度/晶粒尺寸

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

位少博,王兵,熊鹰..超纳米金刚石薄膜的快速生长及结构分析[J].金刚石与磨料磨具工程,2023,43(2):176-181,6.

基金项目

四川省省院省校合作项目(2021YFSY0029). （2021YFSY0029）

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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