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导体镶嵌型巨电流变抛光液及其对硅材料的抛光

邱昭晖 江波 陆坤权 沈容 熊小敏

表面技术2023，Vol.52Issue(5)：218-225,8.
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表面技术2023，Vol.52Issue(5)：218-225,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.05.021

导体镶嵌型巨电流变抛光液及其对硅材料的抛光

Nano-conductor Dominated Giant Electrorheological Polishing Fluid and Its Application to Silicon Materials

邱昭晖 1江波 2陆坤权 3沈容 3熊小敏1

作者信息

  • 1. 中山大学物理学院,广州 510275
  • 2. 中山大学电子与信息工程学院,广州 510275
  • 3. 中国科学院物理研究所,北京 100080
  • 折叠

摘要

关键词

导体镶嵌型电流变液/剪切强度/电流变抛光/硅片/表面粗糙度

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

邱昭晖,江波,陆坤权,沈容,熊小敏..导体镶嵌型巨电流变抛光液及其对硅材料的抛光[J].表面技术,2023,52(5):218-225,8.

基金项目

国家自然科学基金(11874430) （11874430）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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