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激光同步辐照对电化学沉积铜组织结构及结合力的影响

熊庭超 符高琦 吴国龙 陈智君 姚建华 吴让大

表面技术2023,Vol.52Issue(5):336-346,11.
表面技术2023,Vol.52Issue(5):336-346,11.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.05.033

激光同步辐照对电化学沉积铜组织结构及结合力的影响

Effect of Laser Synchronous Irradiation on Microstructure and Binding Force of Electrodeposition Copper

熊庭超 1符高琦 1吴国龙 1陈智君 1姚建华 1吴让大2

作者信息

  • 1. 浙江工业大学激光先进制造研究院,杭州 310023||浙江工业大学机械工程学院,杭州 310023||高端激光制造装备省部共建协同创新中心,杭州 310023
  • 2. 奔腾激光(浙江)股份有限公司,浙江 温州 325025
  • 折叠

摘要

关键词

激光同步辐照/电化学沉积/表面形貌/结合力

分类

航空航天

引用本文复制引用

熊庭超,符高琦,吴国龙,陈智君,姚建华,吴让大..激光同步辐照对电化学沉积铜组织结构及结合力的影响[J].表面技术,2023,52(5):336-346,11.

基金项目

国家自然科学基金项目(51975533) (51975533)

国家自然科学基金项目-中国工程物理研究院NSAF联合基金(U2130122) (U2130122)

浙江省基础公益研究计划项目(LGJ22E050002、LGJ20E050002) (LGJ22E050002、LGJ20E050002)

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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