计量学报2023，Vol.44Issue(4)：549-554,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2023.04.09
SiO2-SiNx体系光学谐振腔中Ti超导薄膜特性的研究
Research on the Properties of Ti Superconducting Thin Films in SiO2-SiNx System Optical Resonator
摘要
关键词
计量学/TES/超导薄膜/光学谐振腔/SiO2-SiNx体系/Ti膜分类
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刘海燕,孙潇莹,李劲劲,王雪深,陈建,高鹤,周哲海,徐骁龙..SiO2-SiNx体系光学谐振腔中Ti超导薄膜特性的研究[J].计量学报,2023,44(4):549-554,6.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金(61901432,61701470) （61901432,61701470）
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中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域项目(AKYZD1903) （AKYZD1903）
北京长城学者支持计划(CIT&TCD20190323) （CIT&TCD20190323）
北京青年拔尖人才支持计划(Z2019042) （Z2019042）
