物理学报2023，Vol.72Issue(9)：314-321,8.DOI:10.7498/aps.72.20221942
多晶金刚石对硅基氮化镓材料的影响
Influence of polycrystalline diamond on silicon-based GaN material
摘要
关键词
多晶金刚石/氮化镓/微波等离子体化学气相沉积法/电性能引用本文复制引用
刘庆彬,蔚翠,郭建超,马孟宇,何泽召,周闯杰,高学栋,余浩,冯志红..多晶金刚石对硅基氮化镓材料的影响[J].物理学报,2023,72(9):314-321,8.基金项目
国家重点研发计划(批准号:2018YFE0125900)和国家重点科学技术研究专项(批准号:2009ZYHW0015)资助的课题. （批准号:2018YFE0125900）
