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自支撑单晶氧化物薄膜的应用研究进展

彭若波 董国华 刘明

物理学报2023,Vol.72Issue(9):329-353,25.
物理学报2023,Vol.72Issue(9):329-353,25.DOI:10.7498/aps.72.20222382

自支撑单晶氧化物薄膜的应用研究进展

Research progress of applications of freestanding single crystal oxide thin film

彭若波 1董国华 1刘明1

作者信息

  • 1. 西安交通大学电子与信息学部电子科学与工程学院,电子陶瓷与器件教育部重点实验室,西安 710049
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摘要

关键词

功能氧化物/单晶薄膜/自支撑/柔性电子器件

引用本文复制引用

彭若波,董国华,刘明..自支撑单晶氧化物薄膜的应用研究进展[J].物理学报,2023,72(9):329-353,25.

基金项目

国家重点研发计划(批准号:2022YFB3205701)、国家自然科学基金(批准号:U22A2019,91964109,52002310)和陕西省创新团队支持项目(批准号:2021TD-12)资助的课题. (批准号:2022YFB3205701)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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