宇航材料工艺2023，Vol.53Issue(2)：49-54,6.DOI:10.12044/j.issn.1007-2330.2023.02.008
基于JC-Z05石英的薄膜电路基板工艺适用性研究
Study on the Process Suitability of Thin-film Circuit Substrate Based on JC-Z05 Quartz
张楠 1王平 1何凯晨 1王婷婷 1赵炜 2任联锋1
作者信息
- 1. 中国空间技术研究院西安分院,西安 710000
- 2. 中国空间技术研究院,北京 100094
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张楠,王平,何凯晨,王婷婷,赵炜,任联锋..基于JC-Z05石英的薄膜电路基板工艺适用性研究[J].宇航材料工艺,2023,53(2):49-54,6.
