电子科技大学学报2023，Vol.52Issue(3)：475-480,6.DOI:10.12178/1001-0548.2022371
微机电硅谐振器动态建模及同步控制
Dynamics Modeling and Synchronization Control of Clamped-Clamped Beam MEM Silicon Resonator
摘要
关键词
动态模型/微机电/同步控制/双端固支梁MEM硅谐振器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
常淑俊,孙佳伟..微机电硅谐振器动态建模及同步控制[J].电子科技大学学报,2023,52(3):475-480,6.基金项目
四川省科技计划资助项目(2020YFH0027) （2020YFH0027）
