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混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响

杨宇琦 李杨 吕彤 张文喜 伍洲

光学精密工程2023，Vol.31Issue(9)：1267-1276,10.
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光学精密工程2023，Vol.31Issue(9)：1267-1276,10.DOI:10.37188/OPE.20233109.1267

混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响

Influence of frequency mixing on measurement accuracy of full-field heterodyne dynamic interferometer

杨宇琦 1李杨 1吕彤 2张文喜 1伍洲1

作者信息

  • 1. 中国科学院 空天信息创新研究院,北京 100094||中国科学院大学 光电学院,北京 100094
  • 2. 中国科学院 空天信息创新研究院,北京 100094
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摘要

关键词

干涉测量/全视场外差/混频/测量误差

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨宇琦,李杨,吕彤,张文喜,伍洲..混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响[J].光学精密工程,2023,31(9):1267-1276,10.

基金项目

中国科学院战略性先导科技专项(No.XDC07040300) （No.XDC07040300）

光学精密工程

OACSTPCD

1004-924X

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