光学精密工程2023，Vol.31Issue(9)：1335-1346,12.DOI:10.37188/OPE.20233109.1335
基于平行度误差补偿的多通道双晶单色器运动控制
Motion control of multi-channel double crystal monochromator based on parallelism error compensation
摘要
关键词
运动控制/迭代学习控制/模型预测控制/多通道双晶单色器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
何思宇,鲁浩林,冯朝,肖晓晖..基于平行度误差补偿的多通道双晶单色器运动控制[J].光学精密工程,2023,31(9):1335-1346,12.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51375349) （No.51375349）
