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一种高功率射频MEMS开关设计

宁朝东 吴倩楠 王俊强 李孟委

舰船电子工程2023，Vol.43Issue(2)：185-189,5.
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舰船电子工程2023，Vol.43Issue(2)：185-189,5.DOI:10.3969/j.issn.1672-9730.2023.02.039

一种高功率射频MEMS开关设计

Design of A High Power RF MEMS Switch

宁朝东 1吴倩楠 2王俊强 1李孟委1

作者信息

  • 1. 中北大学仪器与电子学院 太原 030051||中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051||中北大学微系统集成研究中心 太原 030051
  • 2. 中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051||中北大学微系统集成研究中心 太原 030051||中北大学半导体与物理学院 太原 030051
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摘要

关键词

功率容量/射频MEMS开关/触点

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

宁朝东,吴倩楠,王俊强,李孟委..一种高功率射频MEMS开关设计[J].舰船电子工程,2023,43(2):185-189,5.

基金项目

2020年装备发展部型谱项目(编号:2006WW0011)资助. （编号:2006WW0011）

舰船电子工程

OACSTPCD

1627-9730

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