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氧化铝表面二次电子发射抑制及其在微放电抑制中的应用

孟祥琛王丹蔡亚辉叶振贺永宁徐亚男

物理学报2023，Vol.72Issue(10)：334-344,11.

物理学报2023，Vol.72Issue(10)：334-344,11.DOI:10.7498/aps.72.20222404

氧化铝表面二次电子发射抑制及其在微放电抑制中的应用

Secondary electron emission suppression on alumina surface and its application in multipactor suppression

孟祥琛 ¹王丹 ²蔡亚辉 ²叶振 ³贺永宁 ²徐亚男⁴

作者信息

1. 西安交通大学微电子学院,西安 710049||西安中科原子精密制造科技有限公司,西安 710119||中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710119
2. 西安交通大学微电子学院,西安 710049
3. 西安泰斯特检测技术有限公司,西安 710076
4. 上海空间推进研究所,上海空间发动机工程技术研究中心,上海 201112
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摘要

关键词

二次电子发射/氧化铝/微放电/微结构

引用本文复制引用

孟祥琛,王丹,蔡亚辉,叶振,贺永宁,徐亚男..氧化铝表面二次电子发射抑制及其在微放电抑制中的应用[J].物理学报,2023,72(10):334-344,11.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:62101425,52127817)、陕西省重点研发计划(批准号:2021LLRH-03)、上海市科学技术委员会(批准号:17DZ2280800)、中国科学院重大科研仪器设备研制项目(批准号:ZDKYYQ20220007)和中国科学院重点部署项目(批准号:ZDRW-XH-2021-6)资助的课题. （批准号:62101425,52127817）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-3290

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