液压与气动2023，Vol.47Issue(5)：135-142,8.DOI:10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018
集成电路用气动隔膜阀流体特性的数值研究
Fluid Characteristics of Pneumatic Diaphragm Valves for Integrated Circuits
唐金鑫 1李培源 2陈波 2周临震3
作者信息
- 1. 盐城工学院机械工程学院,江苏盐城 224051||中国科学院微电子研究所,北京 100029
- 2. 中国科学院微电子研究所,北京 100029
- 3. 盐城工学院机械工程学院,江苏盐城 224051
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摘要
关键词
气动隔膜阀/流阻特性/内部流场特性/数值模拟/半导体阀门分类
机械制造引用本文复制引用
唐金鑫,李培源,陈波,周临震..集成电路用气动隔膜阀流体特性的数值研究[J].液压与气动,2023,47(5):135-142,8.
