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高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究

韩冰 马洪涛 许洪刚 闫瑛 鞠德晗 赵纯玉

中国光学2023，Vol.16Issue(3)：587-595,9.
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中国光学2023，Vol.16Issue(3)：587-595,9.DOI:10.37188/CO.2022-0101

高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究

Development and algorithm research of optical alignment system for a high precision flip chip bonder

韩冰 1马洪涛 1许洪刚 1闫瑛 2鞠德晗 1赵纯玉3

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033
  • 2. 中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原 030024
  • 3. 吉林江机特种工业有限公司,吉林吉林 132000
  • 折叠

摘要

关键词

红外焦平面倒装焊机/光学对位系统/平行调整/激光测距

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

韩冰,马洪涛,许洪刚,闫瑛,鞠德晗,赵纯玉..高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究[J].中国光学,2023,16(3):587-595,9.

基金项目

吉林省重点科技研发项目(No.20200401047GX) （No.20200401047GX）

中国光学

OACSTPCD

2095-1531

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