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激光辅助水射流加工砷化镓晶片微槽的实验研究

段凌云 黄传真 刘盾 姚鹏 刘含莲

中国机械工程2023，Vol.34Issue(10)：1172-1183,12.
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中国机械工程2023，Vol.34Issue(10)：1172-1183,12.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2023.10.006

激光辅助水射流加工砷化镓晶片微槽的实验研究

An Experimental Investigation of Laser Assisted Waterjet Microgrooving of GaAs Wafers

段凌云 1黄传真 2刘盾 3姚鹏 3刘含莲3

作者信息

  • 1. 山东大学机械工程学院,济南,250061||上海航天设备制造总厂有限公司,上海,200245
  • 2. 燕山大学机械工程学院,秦皇岛,066004||山东大学机械工程学院,济南,250061
  • 3. 山东大学机械工程学院,济南,250061
  • 折叠

摘要

关键词

激光辅助水射流/微槽/砷化镓晶片/工艺参数

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

段凌云,黄传真,刘盾,姚鹏,刘含莲..激光辅助水射流加工砷化镓晶片微槽的实验研究[J].中国机械工程,2023,34(10):1172-1183,12.

基金项目

济南市科技局自主培养创新团队项目(2019GXRC009) （2019GXRC009）

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-132X

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