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基于复合势垒的AlGaN/GaN异质结材料的制备与性能研究

彭大青李忠辉蔡利康李传皓杨乾坤张东国罗伟科

人工晶体学报2023，Vol.52Issue(5)：746-752,7.

Growth and Properties of AlGaN/GaN Heterojunction Material with Coupled Barrier

彭大青 ¹李忠辉 ¹蔡利康 ²李传皓 ¹杨乾坤 ¹张东国 ¹罗伟科¹

作者信息

1. 南京电子器件研究所,南京 210016||微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室,南京 210016||中国电子科技集团有限公司碳基电子重点实验室,南京 210016
2. 南京电子器件研究所,南京 210016
折叠

AlGaN/GaN异质结/复合势垒/金属有机物气相沉积/高线性/跨导/二维电子气

信息技术与安全科学

彭大青,李忠辉,蔡利康,李传皓,杨乾坤,张东国,罗伟科..基于复合势垒的AlGaN/GaN异质结材料的制备与性能研究[J].人工晶体学报,2023,52(5):746-752,7.

江苏省重点研发计划(SBE2020020137) （SBE2020020137）

OACSTPCD

ISSN：1000-985X

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