人工晶体学报2023，Vol.52Issue(5)：783-790,8.
分子束外延高Al组分AlGaN薄膜及Si掺杂研究
Study on Molecular Beam Epitaxy of High Al Content AlGaN Thin Films and Si Doping
摘要
关键词
高Al组分AlGaN/分子束外延/Si掺杂/载流子特性/周期热脱附分类
数理科学引用本文复制引用
梁潇,郑有炓,张荣,王科,李思琦,王中伟,邵鹏飞,陈松林,陶涛,谢自力,刘斌,陈敦军..分子束外延高Al组分AlGaN薄膜及Si掺杂研究[J].人工晶体学报,2023,52(5):783-790,8.基金项目
国家重点研发计划(2022YFB3605602) （2022YFB3605602）
国家自然科学基金(61974065) （61974065）
江苏省重点研发计划(BE2020004-3,BE2021026) （BE2020004-3,BE2021026）
江苏省特聘教授项目 （）
