|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|人工晶体学报|反应磁控溅射制备h-BN薄膜及其日盲紫外探测器

反应磁控溅射制备h-BN薄膜及其日盲紫外探测器

武成 朱昭捷 李坚富 涂朝阳 吕佩文 王燕

人工晶体学报2023，Vol.52Issue(5)：798-804,7.
✕
人工晶体学报2023，Vol.52Issue(5)：798-804,7.

反应磁控溅射制备h-BN薄膜及其日盲紫外探测器

Fabrication of h-BN Films by Reactive Sputtering Method for Solar-Blind Ultraviolet Detectors

武成 1朱昭捷 2李坚富 2涂朝阳 2吕佩文 2王燕2

作者信息

  • 1. 中国科学院福建物质结构研究所,福州 350002||中国科学院大学,北京 100039
  • 2. 中国科学院福建物质结构研究所,福州 350002
  • 折叠

摘要

关键词

h-BN薄膜/反应溅射法/室温/日盲紫外探测器/光电性能/响应度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

武成,朱昭捷,李坚富,涂朝阳,吕佩文,王燕..反应磁控溅射制备h-BN薄膜及其日盲紫外探测器[J].人工晶体学报,2023,52(5):798-804,7.

基金项目

国家自然科学基金(51832007,51872286,U21A20508) （51832007,51872286,U21A20508）

科技部国家重点研发计划(2022YFB3605704) （2022YFB3605704）

福建省科技计划引导性项目(2022H0043,2020H0036) （2022H0043,2020H0036）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

访问量3
|
下载量0
段落导航相关论文