人工晶体学报2023，Vol.52Issue(5)：878-885,8.
金属调制分子束外延生长氮化铝薄膜
AlN Films Fabricated by Molecular Beam Epitaxy with Metal Modulation
摘要
关键词
金属调制/分子束外延/外延生长/氮化铝/粗糙度分类
数理科学引用本文复制引用
刘欢,郑有炓,张荣,王科,邵鹏飞,陈松林,周辉,李思琦,陶涛,谢自力,刘斌,陈敦军..金属调制分子束外延生长氮化铝薄膜[J].人工晶体学报,2023,52(5):878-885,8.基金项目
国家自然科学基金(61974065) （61974065）
国家重点研发计划(2022YFB3605602) （2022YFB3605602）
江苏省重点研发计划(BE2020004-3,BE2021026) （BE2020004-3,BE2021026）
江苏省特聘教授项目 （）
