表面技术2023，Vol.52Issue(6)：208-222,15.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.06.018
GaN晶片电化学腐蚀表面摩擦磨损特性
Friction and Wear Characteristics of Electrochemically Corroded Surfaces of GaN Wafers
摘要
关键词
GaN晶片/电化学/腐蚀/摩擦磨损/摩擦因数/微观形貌分类
矿业与冶金引用本文复制引用
严杰文,阎秋生,潘继生..GaN晶片电化学腐蚀表面摩擦磨损特性[J].表面技术,2023,52(6):208-222,15.基金项目
国家自然科学基金(52075102,52175385) （52075102,52175385）
NSFC-广东省联合基金(U1801259) （U1801259）
佛山市科技创新团队专项(2018IT100242) （2018IT100242）
