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计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量

李雯研 程强 曾雪锋 李福坤 薛栋林 张学军

光学精密工程2023,Vol.31Issue(11):1581-1592,12.
光学精密工程2023,Vol.31Issue(11):1581-1592,12.DOI:10.37188/OPE.20233111.1581

计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量

High-precise posture measurement for measuring freeform surface with computer generated hologram compensation

李雯研 1程强 1曾雪锋 1李福坤 1薛栋林 1张学军1

作者信息

  • 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033||中国科学院大学,北京100049
  • 折叠

摘要

关键词

光学检测/光学面形位姿测量/"光学-机械"基准定位法/计算全息/定位误差

分类

数理科学

引用本文复制引用

李雯研,程强,曾雪锋,李福坤,薛栋林,张学军..计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量[J].光学精密工程,2023,31(11):1581-1592,12.

基金项目

吉林省卓越创新团队(No.20210509067RQ) (No.20210509067RQ)

国家自然科学基金资助项目(No.61975201,No.62075218,No.12003034) (No.61975201,No.62075218,No.12003034)

国家重大科研仪器研制项目(No.62127901) (No.62127901)

中科院青促会项目(No.2020224,(No.2022213) (No.2020224,(No.2022213)

光学精密工程

OACSTPCD

1004-924X

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