光学精密工程2023，Vol.31Issue(11)：1641-1651,11.DOI:10.37188/OPE.20233111.1641
面向纳米栅格扫描的时滞压电微动平台耦合补偿
Coupling compensation for nano raster scanning of piezoelectric nano-stages with delays
摘要
关键词
压电微动平台/耦合补偿/动力学建模/周期干扰观测器/时滞/H∞优化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张志名,闫鹏..面向纳米栅格扫描的时滞压电微动平台耦合补偿[J].光学精密工程,2023,31(11):1641-1651,11.基金项目
山东省自然科学基金重大基础研究项目(No.ZR2019ZD08) （No.ZR2019ZD08）
