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薄膜生长数据自动化采集技术研究

王丹 张宝花 袁洁 翁红明 周明波 李云龙 何露 孙伟轩 林泽丰 李佳豪 竺云 陈其宏

数据与计算发展前沿2023，Vol.5Issue(3)：29-38,10.
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数据与计算发展前沿2023，Vol.5Issue(3)：29-38,10.DOI:10.11871/jfdc.issn.2096-742X.2023.03.003

薄膜生长数据自动化采集技术研究

Research on Automated Data Acquisition Technology of Thin Film Growth

王丹 1张宝花 2袁洁 3翁红明 4周明波 3李云龙 5何露 3孙伟轩 3林泽丰 3李佳豪 1竺云 6陈其宏3

作者信息

  • 1. 中国科学院物理研究所,北京100190||天津师范大学,天津 300387
  • 2. 中国科学院计算机网络信息中心,北京 100083
  • 3. 中国科学院物理研究所,北京100190
  • 4. 中国科学院物理研究所,北京100190||中国科学院凝聚态物质科学数据中心,北京 100190
  • 5. 中国科学院前沿科学与教育局,北京 100864
  • 6. 天津师范大学,天津 300387
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜生长/数据采集/电子实验记录本

引用本文复制引用

王丹,张宝花,袁洁,翁红明,周明波,李云龙,何露,孙伟轩,林泽丰,李佳豪,竺云,陈其宏..薄膜生长数据自动化采集技术研究[J].数据与计算发展前沿,2023,5(3):29-38,10.

基金项目

中国科学院科学网信专项2022年度应用示范项目(CAS-WX2021SF-0102) （CAS-WX2021SF-0102）

数据与计算发展前沿

OACSCDCSTPCD

2096-742X

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