中国机械工程2023，Vol.34Issue(11)：1353-1363,11.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2023.11.011
电场驱动喷射沉积微3D打印高分辨率氮化铝陶瓷基电路
Electric-field-driven Jet Deposition Micro 3D Printing of High Resolution Aluminum Nitride Ceramic-based Circuits
摘要
关键词
微尺度3D打印/牺牲层/氮化铝陶瓷基电路/高分辨率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
于志浩,兰红波,张广明,李红珂,段培开,于尊,台玉平,李汶海,许权,赵佳伟..电场驱动喷射沉积微3D打印高分辨率氮化铝陶瓷基电路[J].中国机械工程,2023,34(11):1353-1363,11.基金项目
国家自然科学基金(52275345,52175331) （52275345,52175331）
山东省高等学校青创科技支持计划(2021KJ044) （2021KJ044）
山东省自然科学基金重大基础研究项目(ZR2020ZD04 （）
山东省高等学校科技计划(J18KA007) （J18KA007）
