发光学报Issue(S1):P.103-106,4.
用于Ⅲ族氮化物生长的紧配合喷淋头反应器(英文)
ThrushE J 1Kappers M 1Considine L 1Mullins J T 1Saywell V 1BenthamF C 1Sharma N 1Humphreys C J1
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摘要
关键词
MOCVD/密配合喷淋头反应器/Ⅲ族氮化物生长分类
数理科学引用本文复制引用
ThrushE J,Kappers M,Considine L,Mullins J T,Saywell V,BenthamF C,Sharma N,Humphreys C J..用于Ⅲ族氮化物生长的紧配合喷淋头反应器(英文)[J].发光学报,2001,(S1):P.103-106,4.