硅酸盐学报2023，Vol.51Issue(1)：P.145-151,7.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20220468
择优取向氮掺杂氧化铟薄膜的制备及其光电性能
摘要
关键词
氮掺杂氧化铟/磁控溅射/择优取向/光电探测分类
数理科学引用本文复制引用
孙辉,沈龙海,刘子童,陈建金,张芮馨,程佳,张兴来..择优取向氮掺杂氧化铟薄膜的制备及其光电性能[J].硅酸盐学报,2023,51(1):P.145-151,7.基金项目
国家自然科学基金(12274304) （12274304）
超硬材料国家重点实验室开放课题(202004) （202004）
中国科学院青年创新促进会项目(2019197)。 （2019197）
