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基于电磁辐射的静电放电定位探测系统

张泽端 欧阳吉庭 邓成志 王荣刚

测试技术学报2023,Vol.37Issue(4):277-283,7.
测试技术学报2023,Vol.37Issue(4):277-283,7.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2023.04.001

基于电磁辐射的静电放电定位探测系统

Detection System for ESD Event Based on Electromagnetic Radiation

张泽端 1欧阳吉庭 1邓成志 1王荣刚2

作者信息

  • 1. 北京理工大学 物理学院,北京 100081
  • 2. 苏州天华超净科技股份有限公司,江苏 苏州 215121
  • 折叠

摘要

关键词

静电放电/电磁辐射/探测/定位

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张泽端,欧阳吉庭,邓成志,王荣刚..基于电磁辐射的静电放电定位探测系统[J].测试技术学报,2023,37(4):277-283,7.

测试技术学报

OACSTPCD

1671-7449

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