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光斑及线重合度对飞秒激光环形刻蚀SiC/SiC复合材料的影响

方菊 刘壮 李元成 张晓兵

机械制造与自动化2023，Vol.52Issue(3)：7-10,4.
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机械制造与自动化2023，Vol.52Issue(3)：7-10,4.DOI:10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2023.03.003

光斑及线重合度对飞秒激光环形刻蚀SiC/SiC复合材料的影响

Effect of Spot and Line Overlap on Femtosecond Laser Ablation of SiC/SiC Composite

方菊 1刘壮 1李元成 2张晓兵2

作者信息

  • 1. 南京航空航天大学 机电学院,江苏 南京 210016
  • 2. 中国航空制造技术研究院,北京 100024
  • 折叠

摘要

关键词

飞秒激光/环形刻蚀/SiC/SiC复合材料/光斑重合度/线重合度

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

方菊,刘壮,李元成,张晓兵..光斑及线重合度对飞秒激光环形刻蚀SiC/SiC复合材料的影响[J].机械制造与自动化,2023,52(3):7-10,4.

基金项目

国家科技重大专项(2017-Ⅶ-0015-0111) （2017-Ⅶ-0015-0111）

机械制造与自动化

OACSTPCD

1671-5276

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