现代电子技术2023，Vol.46Issue(13)：147-152,6.DOI:10.16652/j.issn.1004-373x.2023.13.025
差分电容式MEMS加速度计的结构设计及仿真
Structure design and simulation of differential capacitive MEMS accelerometer
摘要
关键词
加速度计/敏感元件/"三明治"结构/差分检测/有限元分析/灵敏度/支撑梁厚度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邬润杰,张伟,郭子龙..差分电容式MEMS加速度计的结构设计及仿真[J].现代电子技术,2023,46(13):147-152,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61372016) （61372016）
北京市教育委员会科技计划重点项目(KZ201711232030) （KZ201711232030）
传感器北京市重点实验室开放课题基金资助项目(2022CGKF002) （2022CGKF002）
