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复配表面活性剂对氧化锌单晶衬底后清洗效果的影响

鲍冬赟 潘新花 王宁 黄靖云 叶志镇

材料科学与工程学报2023,Vol.41Issue(3):347-353,7.
材料科学与工程学报2023,Vol.41Issue(3):347-353,7.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2023.03.001

复配表面活性剂对氧化锌单晶衬底后清洗效果的影响

Effect of Mixed Surfactants on Post Cleaning ZnO Single Crystal Substrates

鲍冬赟 1潘新花 1王宁 1黄靖云 1叶志镇1

作者信息

  • 1. 浙江大学 材料科学与工程学院, 浙江 杭州 310027
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摘要

关键词

复配表面活性剂/ZnO单晶衬底/后清洗/SiO2颗粒

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

鲍冬赟,潘新花,王宁,黄靖云,叶志镇..复配表面活性剂对氧化锌单晶衬底后清洗效果的影响[J].材料科学与工程学报,2023,41(3):347-353,7.

基金项目

浙江省重点研发计划资助项目(2021C01030) (2021C01030)

材料科学与工程学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1673-2812

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