材料科学与工程学报2023,Vol.41Issue(3):347-353,7.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2023.03.001
复配表面活性剂对氧化锌单晶衬底后清洗效果的影响
Effect of Mixed Surfactants on Post Cleaning ZnO Single Crystal Substrates
摘要
关键词
复配表面活性剂/ZnO单晶衬底/后清洗/SiO2颗粒分类
通用工业技术引用本文复制引用
鲍冬赟,潘新花,王宁,黄靖云,叶志镇..复配表面活性剂对氧化锌单晶衬底后清洗效果的影响[J].材料科学与工程学报,2023,41(3):347-353,7.基金项目
浙江省重点研发计划资助项目(2021C01030) (2021C01030)