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基于广义胡克定律与压痕实验的磷化铟晶圆力学特性各向异性计算

蒋金鑫姜晨郎小虎高睿黄鹏辉

材料科学与工程学报2023，Vol.41Issue(3)：359-365,7.

材料科学与工程学报2023，Vol.41Issue(3)：359-365,7.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2023.03.003

Anisotropic Calculation of Mechanical Properties of InP Wafers Based on Generalized Hooke's Law and Indentation Experiment

蒋金鑫 ¹姜晨 ¹郎小虎 ²高睿 ¹黄鹏辉¹

作者信息

磷化铟/力学特性/各向异性/压痕实验

数理科学

蒋金鑫,姜晨,郎小虎,高睿,黄鹏辉..基于广义胡克定律与压痕实验的磷化铟晶圆力学特性各向异性计算[J].材料科学与工程学报,2023,41(3):359-365,7.

国家自然科学基金面上资助项目(51475310) （51475310）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1673-2812

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