传感技术学报2023，Vol.36Issue(5)：738-743,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2023.05.011
基于递归正位置反馈的三阶压电纳米定位台谐振控制
Resonant Control of Third-Order Piezoelectric Nano-Positioning Stage Based on Recursive Positive Position Feedback
摘要
关键词
压电纳米定位台/低阻尼谐振模态抑制/极点配置法/递归结构/主动阻尼控制器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴智仁,许素安,富雅琼,武泽宇..基于递归正位置反馈的三阶压电纳米定位台谐振控制[J].传感技术学报,2023,36(5):738-743,6.基金项目
国家自然科学基金项目(51105348) （51105348）
