人工晶体学报2023,Vol.52Issue(6):931-944,14.
异质外延单晶金刚石及其相关电子器件的研究进展
Research Progress of Heteroepitaxial Single-Crystal Diamond and Related Electronic Devices
摘要
关键词
单晶金刚石/异质外延生长/宽禁带半导体/半导体器件/场效应晶体管/二极管Key words
single-crystal diamond/heteroepitaxial growth/wide-band gap semiconductor/semiconductor device/field-effect transistor/diode分类
数理科学引用本文复制引用
陈根强,赵浠翔,于众成,李政,魏强,林芳,王宏兴..异质外延单晶金刚石及其相关电子器件的研究进展[J].人工晶体学报,2023,52(6):931-944,14.基金项目
国家重点研发计划(2021YFB3602100) (2021YFB3602100)
国家自然科学基金(U21A2073,62074127) (U21A2073,62074127)