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异质外延单晶金刚石及其相关电子器件的研究进展

陈根强 赵浠翔 于众成 李政 魏强 林芳 王宏兴

人工晶体学报2023,Vol.52Issue(6):931-944,14.
人工晶体学报2023,Vol.52Issue(6):931-944,14.

异质外延单晶金刚石及其相关电子器件的研究进展

Research Progress of Heteroepitaxial Single-Crystal Diamond and Related Electronic Devices

陈根强 1赵浠翔 1于众成 1李政 1魏强 1林芳 1王宏兴1

作者信息

  • 1. 西安交通大学,电子物理与器件教育部重点实验室,西安 710049||西安交通大学电子与信息学部,宽禁带半导体与量子器件研究所,西安 710049
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摘要

关键词

单晶金刚石/异质外延生长/宽禁带半导体/半导体器件/场效应晶体管/二极管

Key words

single-crystal diamond/heteroepitaxial growth/wide-band gap semiconductor/semiconductor device/field-effect transistor/diode

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈根强,赵浠翔,于众成,李政,魏强,林芳,王宏兴..异质外延单晶金刚石及其相关电子器件的研究进展[J].人工晶体学报,2023,52(6):931-944,14.

基金项目

国家重点研发计划(2021YFB3602100) (2021YFB3602100)

国家自然科学基金(U21A2073,62074127) (U21A2073,62074127)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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