人工晶体学报2023，Vol.52Issue(6)：1007-1015,9.
切割角蓝宝石基氧化镓薄膜MOCVD外延及日盲紫外光电探测器制备
MOCVD Epitaxy of β-Ga2O3 Films on Off-Cut Angled Sapphire Substrates and Fabrication of Solar-Blind Ultraviolet Photodetector
摘要
关键词
超宽禁带半导体/氧化镓薄膜/金属有机物化学气相沉积/日盲紫外光电探测器/切割角/外延Key words
ultra-wide bandgap semiconductor/β-Ga2O3 film/metal organic chemical vapor deposition/solar-blind ultraviolet photodetector/off-cut angle/epitaxy分类
数理科学引用本文复制引用
汪正鹏,张荣,叶建东,张崇德,孙新雨,胡天澄,崔梅,张贻俊,巩贺贺,任芳芳,顾书林..切割角蓝宝石基氧化镓薄膜MOCVD外延及日盲紫外光电探测器制备[J].人工晶体学报,2023,52(6):1007-1015,9.基金项目
国家重点研发计划(2022YFB3605403) （2022YFB3605403）
国家自然科学基金(62234007,62293521,U21A20503,U21A2071) （62234007,62293521,U21A20503,U21A2071）
广东省重点研发计划(2020B010174002) （2020B010174002）
