人工晶体学报2023，Vol.52Issue(6)：1016-1024,9.
台阶聚束AlN高温热退火形貌演化研究
Evolution of AlN Step Bunching Morphology During High-Temperature Annealing
摘要
关键词
氮化铝/表面形貌/高温热退火/台阶聚束/斜切衬底/热刻蚀Key words
AlN/surface morphology/high-temperature anneal/step bunching/miscut substrate/thermal etch分类
数理科学引用本文复制引用
聂子凯,黎大兵,贲建伟,张恩韬,马晓宝,张山丽,石芝铭,吕顺鹏,蒋科,孙晓娟..台阶聚束AlN高温热退火形貌演化研究[J].人工晶体学报,2023,52(6):1016-1024,9.基金项目
国家自然科学基金(62004127,61827813,U22A2084) （62004127,61827813,U22A2084）
