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原子层沉积及其在透明导电薄膜领域的研究与应用

段超李坤高岗杨磊徐梁格浩钢朱嘉琦

人工晶体学报2023，Vol.52Issue(6)：1052-1066,15.

Atomic Layer Deposition and Its Impact on Transparent Conductive Films

段超 ¹李坤 ¹高岗 ¹杨磊 ²徐梁格 ¹浩钢 ³朱嘉琦⁴

作者信息

1. 哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨 150001
2. 哈尔滨工业大学分析与测试中心,哈尔滨 150001
3. 哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨 150001||哈尔滨工业大学郑州研究院,郑州 450000
4. 哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨 150001||哈尔滨工业大学郑州研究院,郑州 450000||哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室,哈尔滨 150001
折叠

原子层沉积/透明导电薄膜/镀膜方式/形貌/成分/光电性能

atomic layer deposition/transparent conductive film/coating method/morphology/composition/optoelectronic property

通用工业技术

段超,李坤,高岗,杨磊,徐梁格,浩钢,朱嘉琦..原子层沉积及其在透明导电薄膜领域的研究与应用[J].人工晶体学报,2023,52(6):1052-1066,15.

国家自然科学基金重点项目(52032004) （52032004）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1000-985X

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