人工晶体学报2023，Vol.52Issue(6)：1128-1135,8.
蓝宝石晶体湿法刻蚀各向异性研究与机理分析
Anisotropy and Mechanism of Wet Etching of Sapphire Crystal
摘要
关键词
蓝宝石/湿法刻蚀/各向异性/刻蚀条件/刻蚀机理/表面形貌Key words
sapphire/wet etching/anisotropic/etching condition/etching mechanism/surface morphology分类
数理科学引用本文复制引用
张辉,钱珺,洪莉莉..蓝宝石晶体湿法刻蚀各向异性研究与机理分析[J].人工晶体学报,2023,52(6):1128-1135,8.基金项目
江苏省工业感知及智能制造装备工程研究中心开放基金(ZK22-05-07) （ZK22-05-07）
南京工业职业技术大学引进人才科研启动基金(YK20-01-08) （YK20-01-08）
