ICP与射频源的匹配网络的设计与实现

张浩蔡树向刘强杨文广

烟台大学学报（自然科学与工程版）2023，Vol.36Issue(3)：313-319,7.

烟台大学学报（自然科学与工程版）2023，Vol.36Issue(3)：313-319,7.DOI:10.13951/j.cnki.37-1213/n.220622

Design and Implementation of Matching Network Between ICP and RF Source

张浩 ¹蔡树向 ¹刘强 ¹杨文广¹

作者信息

L型匹配网络/电抗公式/阻抗匹配仿真/自动阻抗匹配电路

信息技术与安全科学

张浩,蔡树向,刘强,杨文广..ICP与射频源的匹配网络的设计与实现[J].烟台大学学报（自然科学与工程版）,2023,36(3):313-319,7.

国家自然科学基金资助项目(61803323) （61803323）

山东省自然科学基金资助项目(ZR2019BF049). （ZR2019BF049）

ISSN：1004-8820

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