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激光辅助水射流微铣削单晶β-Ga2O3衬底的实验研究

田龙黄传真刘盾姚鹏刘含莲刘雪飞

中国机械工程2023，Vol.34Issue(13)：1559-1567,9.

中国机械工程2023，Vol.34Issue(13)：1559-1567,9.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2023.13.005

Experimental Study of Laser Assisted Water Jet Micromilling of Single Crystal β-Ga2O3 Substrates

田龙 ¹黄传真 ²刘盾 ¹姚鹏 ¹刘含莲 ¹刘雪飞¹

作者信息

氧化镓衬底/激光辅助水射流/微铣削/表面粗糙度

gallium oxide substrate/laser assisted water jet/micro milling/surface roughness

矿业与冶金

田龙,黄传真,刘盾,姚鹏,刘含莲,刘雪飞..激光辅助水射流微铣削单晶β-Ga2O3衬底的实验研究[J].中国机械工程,2023,34(13):1559-1567,9.

河北省全职引进国家高层次创新型人才科研项目(2021HBQZYCXY004) （2021HBQZYCXY004）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-132X

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