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氮化铝陶瓷激光切割工艺技术研究

郭军 党军杰 李建青 张浩 崔嵩

真空电子技术Issue(4):P.46-49,4.
真空电子技术Issue(4):P.46-49,4.

氮化铝陶瓷激光切割工艺技术研究

郭军 1党军杰 1李建青 1张浩 1崔嵩1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第四十三研究所,安徽合肥230088
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摘要

关键词

氮化铝/激光/陶瓷加工/切割深度

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

郭军,党军杰,李建青,张浩,崔嵩..氮化铝陶瓷激光切割工艺技术研究[J].真空电子技术,2017,(4):P.46-49,4.

真空电子技术

1002-8935

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