中山大学学报：自然科学版2003，Vol.42Issue(A19)：P.75-77,3.DOI:10.3321/j.issn:0529-6579.2003.z1.022
PECVD氮化硅薄膜的沉积和退火特性(英文)
李艳 1励旭东 1许颖 2王文静 2顾亚华 1赵玉文 2卢殿通1
作者信息
- 1. 北京师范大学低能核物理研究所,北京100875
- 2. 北京市太阳能研究所,北京l00083
- 折叠
引用本文复制引用
李艳,励旭东,许颖,王文静,顾亚华,赵玉文,卢殿通..PECVD氮化硅薄膜的沉积和退火特性(英文)[J].中山大学学报：自然科学版,2003,42(A19):P.75-77,3.
