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氦质谱检漏仪灯丝脆断故障的研究与解决

何擎

真空电子技术Issue(4)：P.55-57,3.
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真空电子技术Issue(4)：P.55-57,3.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2017.04.013

氦质谱检漏仪灯丝脆断故障的研究与解决

何擎1

作者信息

  • 1. 甘肃省微波电子工程技术研究中心国营第七七八厂,甘肃平凉744000
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摘要

关键词

检漏仪/灯丝/脆断/研究/解决

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

何擎..氦质谱检漏仪灯丝脆断故障的研究与解决[J].真空电子技术,2017,(4):P.55-57,3.

真空电子技术

1002-8935

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