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中山大学学报：自然科学版
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中频磁控溅射法制备氧化锌钇薄膜及其性能研究(英文)
中频磁控溅射法制备氧化锌钇薄膜及其性能研究(英文)
孙若男
庄大明
张弓
中山大学学报：自然科学版
2007，Vol.46
Issue(B06)：P.39-40,2.
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中山大学学报：自然科学版
2007，Vol.46
Issue(B06)
：P.39-40,2.
中频磁控溅射法制备氧化锌钇薄膜及其性能研究(英文)
孙若男
1
庄大明
1
张弓
1
作者信息
1.
清华大学机械工程系,北京100084
折叠
摘要
关键词
ZYO
/
磁控溅射
/
透明导电薄膜
/
透过率
/
电阻率
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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孙若男,庄大明,张弓..中频磁控溅射法制备氧化锌钇薄膜及其性能研究(英文)[J].中山大学学报：自然科学版,2007,46(B06):P.39-40,2.
中山大学学报：自然科学版
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
0529-6579
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