人工晶体学报Issue(S1):P.335-338,4.
脉冲偏压及退火处理对电弧离子镀N掺杂TiO_2薄膜结构和性能的影响
摘要
关键词
电弧离子镀/N掺杂TiO2/脉冲偏压/退火处理/结构和性能分类
通用工业技术引用本文复制引用
张淑娟,黎响,陈文亮,欧炳蔚,李明升..脉冲偏压及退火处理对电弧离子镀N掺杂TiO_2薄膜结构和性能的影响[J].人工晶体学报,2009,(S1):P.335-338,4.基金项目
江西省自然科学基金项目(No.GJJ08365) (No.GJJ08365)
江西省自然科学基金项目(No.GJJ08365) (No.GJJ08365)