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导模法生长β-Ga2O3晶体中的小角晶界

王佩 穆文祥 侯童 贾志泰 陶绪堂

硅酸盐学报2023，Vol.51Issue(6)：1406-1411,6.
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硅酸盐学报2023，Vol.51Issue(6)：1406-1411,6.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20220972

导模法生长β-Ga2O3晶体中的小角晶界

Low Angle Grain Boundaries in β-Ga2O3 Crystal Grown by EFG Method

王佩 1穆文祥 1侯童 1贾志泰 2陶绪堂1

作者信息

  • 1. 山东大学,晶体材料国家重点实验室,新一代半导体材料研究院,晶体材料研究院,济南 250100
  • 2. 山东大学,晶体材料国家重点实验室,新一代半导体材料研究院,晶体材料研究院,济南 250100||山东省工业技术研究院,济南 250100
  • 折叠

摘要

关键词

导模法/β-氧化镓/小角晶界/摇摆曲线

Key words

edge-defined film-fed growth method/β-gallium oxide/low angle grain boundaries/rocking curve

分类

数理科学

引用本文复制引用

王佩,穆文祥,侯童,贾志泰,陶绪堂..导模法生长β-Ga2O3晶体中的小角晶界[J].硅酸盐学报,2023,51(6):1406-1411,6.

基金项目

广东省重点领域研发计划(2020B010174002) （2020B010174002）

国家自然科学基金(51932004,52002219). （51932004,52002219）

硅酸盐学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0454-5648

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