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XY工作台六自由度误差在线测量和补偿

林荣炜程真英何亚雄李洁李瑞君

光学精密工程2023，Vol.31Issue(12)：1761-1773,13.

光学精密工程2023，Vol.31Issue(12)：1761-1773,13.DOI:10.37188/OPE.20233112.1761

On-line six-degree-of-freedom errors measurement and compensation for XY stages

林荣炜 ¹程真英 ¹何亚雄 ¹李洁 ¹李瑞君¹

作者信息

XY工作台/多自由度/补偿模型/阿贝原则

XY stage/multi-degree-of-freedom/compensation model/Abbe principle

计算机与自动化

林荣炜,程真英,何亚雄,李洁,李瑞君..XY工作台六自由度误差在线测量和补偿[J].光学精密工程,2023,31(12):1761-1773,13.

国家自然科学基金资助项目(No.52175506) （No.52175506）

国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004900) （No.2019YFB2004900）

OACSTPCD

ISSN：1004-924X

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