光学精密工程2023，Vol.31Issue(12)：1785-1792,8.DOI:10.37188/OPE.20233112.1785
芯片材料表面微纳流道的金刚石滚压成型实验研究
Experimental study on rolling microchannel and nanochannel in chip materials by diamond
摘要
关键词
微纳流道/金刚石刀轮/单晶碳化硅/蓝宝石/光学玻璃Key words
microchannel and nanochannel/diamond cutter wheel/4H-SiC/sapphire/optical glass分类
计算机与自动化引用本文复制引用
周聪,陈钊杰,谢晋,陈绒..芯片材料表面微纳流道的金刚石滚压成型实验研究[J].光学精密工程,2023,31(12):1785-1792,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51975219) （No.51975219）
广东省基础与应用研究基金项目(2022A1515220053) （2022A1515220053）
广东省教育厅普通高校认定类科研项目(2020KQNCX103) （2020KQNCX103）
