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光刻胶掩膜材料超光滑表面切削

李秋怡 周天丰 周佳 胡君剑 赵斌

光学精密工程2023，Vol.31Issue(13)：1909-1921,13.
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光学精密工程2023，Vol.31Issue(13)：1909-1921,13.DOI:10.37188/OPE.20233113.1909

光刻胶掩膜材料超光滑表面切削

Ultra-precision cutting of photoresist mask for ultra-smooth surface

李秋怡 1周天丰 2周佳 1胡君剑 3赵斌2

作者信息

  • 1. 北京理工大学 机械与车辆学院,北京 100081
  • 2. 北京理工大学 机械与车辆学院,北京 100081||北京理工大学 重庆创新中心,重庆 401120
  • 3. 江西联创电子有限公司,江西 南昌 330000
  • 折叠

摘要

关键词

超精密切削/掩膜加工/切削仿真/光刻胶SU8/微透镜阵列

Key words

ultra-precision cutting/mask processing/cutting simulation/photoresist SU8/microlens ar-ray

分类

机械工程

引用本文复制引用

李秋怡,周天丰,周佳,胡君剑,赵斌..光刻胶掩膜材料超光滑表面切削[J].光学精密工程,2023,31(13):1909-1921,13.

基金项目

国家自然科学基金面上项目(No.51875043) （No.51875043）

国家自然科学基金青年项目(No.52205441) （No.52205441）

重庆市自然科学基金面上项目(No.2022NSCQ-MSX3775) （No.2022NSCQ-MSX3775）

光学精密工程

OACSTPCD

1004-924X

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